玻璃油擴散泵目前廣泛用于試驗室的真空設(shè)備、長排車和一些生產(chǎn)設(shè)備上。由于玻璃系統(tǒng)具有透明、便于觀察內(nèi)部情況，容易檢漏、補漏，制做方便，價格便宜，吸放氣少且易于除氣等優(yōu)點，因此盡管它容易破碎，玻璃壁易于滲氦，體積不能做得很大因而抽速不能很大，但仍在中小抽速范圍內(nèi)大量使用著。
我國玻璃油擴散泵的生產(chǎn)廠主要是武漢玻璃廠和上海玻璃廠。以武漢玻璃廠生產(chǎn)的玻璃油擴散泵為例。玻璃油擴散泵的一種改進擴散增壓泵:盡管玻璃油擴散泵已發(fā)明多年，但為了擴大使用仍需不斷改進。改進的方向大致是在提高其極限真空度和增大抽氣范圍等方面。
例如真空冶煉、半導(dǎo)體提純、特種電真空器件和電光源的排氣都要求在10-2~10-5托之間迅速排除大量氣體，實驗室為創(chuàng)造無噪聲、無振動的環(huán)境需要長時間內(nèi)停止機械泵的工作，這些都提出了需要極限真空度高、排氣量大和前級耐壓高的排氣設(shè)備等特殊要求。而任何單獨的油增壓泵或油擴散泵，是很難同時滿足上述要求的。油擴散增壓泵就能承擔(dān)這一任務(wù)。
玻璃超高真空油擴散增壓泵，在原超高真空擴散泵的基礎(chǔ)上，采取改進擴壓器出口管道直徑，改變水冷方法，增大油鍋面積，增加二、三級噴嘴擴散面積，使用雙層水冷帽，并使用275硅油等措施，其極限真空度可抽到5x10-10托，達(dá)到普通擴散泵水平。PY-4型泵就是一例，工作范圍擴寬到10-1~10-10托之間，能在1x10-3托到5x10-9托達(dá)滿抽速，這樣使用就方便了。它可直接與機械泵串聯(lián)使用，抽速150~200升/秒；在1x10-3托時的最大前級耐壓達(dá)1.2托，這在玻璃油擴散泵的改進方面是個可喜的努力。
