真空系統(tǒng)獲得真空的過程稱為抽真空,也叫做抽氣或排氣。在規(guī)定的氣壓下單位時間抽出的氣體體積稱為抽氣速率，即抽速.也可以叫做泵速，單位是L/S.泵或某一真空系統(tǒng)在排氣足夠長的時問后所能達(dá)到的最低氣壓稱為極限真空度.
稀油金屬冶金要求高真空條件.因此常使用機(jī)械泵和擴(kuò)散泵配置成的高真空機(jī)組成套設(shè)備.用機(jī)械泵和增壓泵串聯(lián)可抽真空至10-6Pa.欲進(jìn)一步提高真空度，還可在工作系統(tǒng)中放針吸附劑或安裝冷阱，將泵沒有抽走的氣體吸附或冷凝下來.有時還增設(shè)一級機(jī)械增壓泵與機(jī)組串聯(lián)或并聯(lián)，以提高一定真空范圍內(nèi)的抽氣能力。
在高真空機(jī)組中.機(jī)械泵能使氣壓從一個大氣壓開始變小，稱為前級泵;擴(kuò)散泵只能從較低的氣壓抽到更低的氣壓.稱為次級泵。次級泵開始工作的氣壓稱之為預(yù)備真空或前級真空。每種真空泵的最佳抽速均與一定的入口壓強(qiáng)相對應(yīng).因此.必須合理配俊真空機(jī)組，才能獲得最佳的真空效益.而一個不合理的的配置不僅會造成浪費，也導(dǎo)致其空系統(tǒng)的真空度達(dá)不到預(yù)期要求。
真空機(jī)組的合理配置應(yīng)解決好如下幾個主要問題:
1)根據(jù)真空設(shè)備產(chǎn)生的氣體量、工作壓強(qiáng)、極限其空度及抽氣時間等要求，選擇主泵的類型.確定管路及選配真空元件;
2)選配好主泵后，計算真空設(shè)備的抽氣時間及達(dá)到的壓強(qiáng);
3)了解真空泵的荃本參數(shù)與導(dǎo)管的通過能力的關(guān)系等.
