早期的真空系統(tǒng)都必須由真空工作者親自設(shè)計、組裝.后來由于行業(yè)的發(fā)展壯大，遂有真空機組的供應(yīng)。真空機組分為低真空機組、高真空機組、超高真空機組等多種，且種類繁多，不勝枚舉.現(xiàn)介紹一些于下。
一、低真空機組(一)—含油機組
低真空機組的特點是工作壓強高、排氣量大。多用于真空室的粗抽以及氣體負載大、工作壓強高的場合，如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣等裝盟中。低真空抽氣機組的主泵常用往復(fù)式機械泵、旋轉(zhuǎn)油封機械泵、水蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵、油蒸汽噴射泵、羅茨泵等，除后兩者不能直接排于大氣外，其余各種泵均能直接排于大氣。使用低真空抽氣機組，還需要根據(jù)被抽氣體的潔凈程度、濕度或其他特殊要求，配置必要的除塵器、干燥罐等部件，以保護機組，免致泵腔磨損。
二、低真空機組(二)—干式(無油)機組
近年來用多級爪式泵作為前級泵，和一個羅茨泵串接組成的干式抽氣機組，能將氣體直接抽到大氣中，獲得了廣泛的應(yīng)用。主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、冶金、化學(xué)等行業(yè).現(xiàn)舉例如下。
1.輕負載機組
主要應(yīng)用于薄膜工藝、真空工藝及科學(xué)研究中抽除干燥和非腐蝕性氣體用。機組泵的級數(shù)有1+3和1+4(1個羅茨泵、3或4級的爪式泵)兩種，前者極限真空為10~1Pa.后者達1~10-1Pa(均不含惰性氣體時);最高進口壓強900托，進口氣體最高溫度(120000Pa時)40℃，最高出口壓強150000 Pa。抽速在200~400m3/hrs.泵的轉(zhuǎn)速有2850 r.p.m.及3400 r.P.m.兩種，需水冷，軸承需氮氣吹洗，氮耗量每分鐘0.35L。
2.中等負載機組
主要應(yīng)用于抽取腐蝕性氣體，為含蒸汽及塵粒的工藝過程提供真空環(huán)境等，如化學(xué)工藝、半導(dǎo)體工藝，當(dāng)然，薄膜工藝、真空工藝及科學(xué)研究等也均能勝任。
3.苛刻負載機組
主要應(yīng)用于抽除會產(chǎn)生副產(chǎn)品而阻塞泵的氣體或蒸汽.以及提供產(chǎn)生顆粒的真空工藝過程所需的真空環(huán)境，如制TiN、生長晶體、某些CVD過程等。
三、超高真空機組
超高真空機組是工作壓強在超高真空區(qū)域(<10-8Torr)能承受一定氣體負載的真空機組。
1.分子泵機組
ULVAC公司開發(fā)出一種無需冷水的分子泵機組(MUE-ECO系列).用100L/min(N2)的油封旋轉(zhuǎn)機械泵作為前置泵;機組抽速達210L/S(對N2).極限真空<10-8Torr,其最高Ar負載為30cm3/min.
該機組的主要特點是:結(jié)構(gòu)緊湊通用性強;易于操作和維護，如易換試樣，因其工作室的上部是像鐘罩一樣可取下的(工作室直徑250 mm左右)，而底部用法蘭連接至分子泵，周圍有多個法蘭接口供接入蒸發(fā)源、膜厚監(jiān)測探頭等之用;工作室(不銹鋼制成)內(nèi)表面經(jīng)特殊化學(xué)拋光.故室壁放氣少、達到極限真空快。
2.低溫冷凝泵機組
這種機組由低溫冷凝泵及制冷機組成，無需另用液氦或液氮。廠方可根據(jù)客戶要求提供所需性能的機組，例如:為濺射裝置用的大抽速型;為刻蝕及CVD裝置用的無腐蝕型;為獲得更佳真空的可烘烤型;為科學(xué)實驗用的低振動型;機組高度較矮的L型等。 |
