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機(jī)械泵(真空泵)串聯(lián)擴(kuò)散泵的高真空系統(tǒng)

肯定有人會問,何為機(jī)械泵?不管是機(jī)械泵還是擴(kuò)散泵都屬于真空泵,一般機(jī)械泵達(dá)到的真空泵較低,在10-4乇左右,而擴(kuò)散泵的真空度較高,在10-8乇左右,擴(kuò)散泵需要機(jī)械泵作為前級泵,以達(dá)到更高的真空度,就像水環(huán)真空泵羅茨真空泵組成羅茨水環(huán)真空機(jī)組一樣,只是真空度的不同而已,一般抽取儲存液氧的氧氣瓶里面夾層的真空需要這種很高的真空機(jī)組。

關(guān)于真空度的測量,用熱偶計(或高壓強(qiáng)電離計)測中真空,用電離計測高真空。有一種玻璃高真空系統(tǒng)。其特點是玻璃系統(tǒng)制造方便、內(nèi)部清潔,適合于小型科研實臉。為避免機(jī)械泵振動的影響,機(jī)械泵與雙通活栓之間采用橡皮管連接。被排容器接在臺面上部,并用烘箱蓋住烘烤。雙通活栓的接法,應(yīng)使機(jī)械泵或通擴(kuò)散泵、或通大氣。這樣,當(dāng)系統(tǒng)使用完畢時,將活栓通向大氣,防止機(jī)械泵返油;同時擴(kuò)散泵得以保持真空。有些系統(tǒng)需要真空度較高,可在擴(kuò)散泵上加液氮冷阱。抽氣泵用機(jī)械泵和金屬擴(kuò)散泵,真空度測量用熱偶計和電離計。與玻璃系統(tǒng)不同之處在于:

1)由于真空室較大,如預(yù)抽時氣體也要通過擴(kuò)散泵再到機(jī)械泵,將因路程長而需要較多時

間,需設(shè)置一預(yù)抽閥,使真空室可由此閥直接通機(jī)械泵。預(yù)抽時,開啟此閥將真空室抽氣,達(dá)到預(yù)抽要求后,將此閥關(guān)閉;

2)擴(kuò)散泵較大,返油較嚴(yán)重,通常需要加擋板,如要求更高真空,則可加液氮冷阱;

3)有前置真空容器起前級壓強(qiáng)穩(wěn)定作用;

4)采用電磁閥,遇到突然停電時自動將真空系統(tǒng)封閉。

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